分析溶液用蠕動(dòng)泵吸入ICP霧化器在霧化器毛細(xì)中心管出口處，因載氣流速很快（約150-200m/s），而液流速較慢，兩者之間產(chǎn)生摩擦力，液流被拉細(xì)并被氣流沖擊破碎成霧滴。形成zui初的氣溶膠流，成為一次氣溶膠。氣溶膠流在前進(jìn)過(guò)程中，大氣溶膠受到氣流沿徑向和切向動(dòng)壓力的作用進(jìn)一步細(xì)化，較細(xì)的氣溶膠被載氣送入等離子體。未被細(xì)化的氣溶膠凝聚成液滴后排出廢液容器。

　　

　　ICP霧化器是用超聲波振動(dòng)的空化作用把溶液霧化成氣溶膠。超聲霧化器裝置比氣動(dòng)霧化裝置復(fù)雜，由超聲波發(fā)生器、進(jìn)樣器、霧室、去溶裝置幾部分組成.使用時(shí)常用進(jìn)樣器（蠕動(dòng)泵）把試樣溶液輸入霧室，由超聲波發(fā)生器的電磁振蕩通過(guò)高頻電纜與霧室中的換能器（例如鋯鈦酸鉛壓電晶片）相連，晶片在高頻電壓作用下產(chǎn)生諧振，將電磁能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械能而產(chǎn)生超聲波，當(dāng)超聲波連續(xù)輻射到霧室中試樣溶液時(shí)，由于樣品溶液與空氣界面間的空化作用，使液體形成氣溶膠，然后用載氣通過(guò)霧室把試樣氣溶膠去溶后引入炬管。采用超聲霧化時(shí)氣溶膠產(chǎn)生速度和載氣流量可分別選擇*條件，所產(chǎn)生的氣溶膠霧滴更細(xì)更均勻，ICP霧化器霧化效率可提高10倍，如果樣品基體不復(fù)雜的話(huà)，超聲霧化器的檢出限要比氣動(dòng)霧化器的好一個(gè)數(shù)量級(jí)左右，如果有干擾，例如背景漂移或光譜重疊，則這些效應(yīng)亦以同樣的程度增加。同樣，當(dāng)被霧化的溶液含鹽較高時(shí)，在等離子炬管的中心管上的積鹽也會(huì)增加。超聲霧化器的記憶效應(yīng)較大，與氣動(dòng)霧化器相比，穩(wěn)定性還有待進(jìn)一步提高。